1、真空泵的极限压强：泵的极限压强单位是Pa，是指泵在进口处装有规范实验罩并按规则条件作业，在不引进气体正常作业的情况下，趋向安稳的最低压强。

2、真空泵的抽气速率：泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有规范实验罩，并按规则条件作业时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩指定方位测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3、真空泵的抽气量：真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵进口的气体流量。

4、真空泵的起动压强：真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气效果时的压强。

5、泵的前级压强：真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6、真空泵的最大前级压强：真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7、真空泵的最大作业压强：真空泵的最大作业压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的进口压强。在此压强下，泵能接连作业而不恶化或损坏。

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